Accomplishing the development of square four point probe instrument with the function of image manipulation for testing sheet resistance automatically 4完成具有图像识别功能的全自动四探针微区电阻率测试仪的研制。
In this paper , the circuit used for testing sheet resistance is designed using single chip processor . additionally , we have expressed van der pauw function as a polynomial form through local and global reversal development by using the normalized polynomial match , being convenient not only for programming , but also for sheet resistance testing when using van der pauw and rymaszewski methods 本文还利用单片机系统设计了薄层电阻测试电路,对于程序中用到的范德堡隐函数,利用非线性反演和规范化拟合的方法推导出其多项式显函数形式。这不仅给对我们编写程序提供了方便,也为使用范德堡法和rymaszewski法测量薄层电阻提供了便利。
At present , the problem in testing sheet resistance for micro - areas is that probes must be set up at the suitable locations by handwork . in order to know the wafer ' s impurity distributing , we need test many times , so will waste a lot of time . if the wafer ' s diameter would be 300mm , this problem will be more serious . in this paper , image analysis is introduced , through pre - processing and edge picking - up , the probe tips are recognized . then probe tips will be aligned respectively in two perpendicular directions through driving stepper motors . thus the distribution of sheet resistance for whole wafer is got by automatic testing and it offers information for detecting the impurity distribution and the diffusion uniformity 这样,完成200mm ( 8时)圆片杂质的扩散分布需要对许多图形进行测试,需要花费很长的时间,当测试300mm硅片时问题就更为突出。本文将图象与视觉测量系统引入四探针测试系统中,对采集到的原始探针图像进行预处理、边缘提取等操作,以便实现探针针尖的识别,然后由电机控制实现探针的自动定位。这样测试系统可以自动获得全片的薄层电阻分布,为超大规模集成电路检测杂质分布和扩散的均匀性提供信息。
test: n. 【动物;动物学】(软体类的)介壳,甲壳;【植物;植 ...sheet: n. 【航海】 1.缭绳;帆脚索。 2.〔pl.〕(船头 ...testing record sheet: 试验记录表; 试验记录卡double loop-sheet testing machine: 双卷层薄板试验机sheet metal ductility testing instrument: 金属板延性试验仪testing: 测试系统; 吃力的; 复合地层试井; 检验的; 施测; 试验的; 试验方法; 试验设备a sheet of: 成幅的薄片; 一张on the sheet: 在纸上sheet: n. 1.〔常 pl.〕被单;褥单。 2.裹尸布。 3.(忏悔者穿的)白衣;忏悔服。 4.一张(纸);纸张;(尤指黄色)报纸;〔pl.〕书页;印刷品。 5.表格;图表;单子;票笺;文件;罪犯的记录单。 6.(一)片;(一)块;(一)层;薄片;薄板。 7.(烤面包的)铁板。 8.(水、雪、冰、火、颜色等的)广大的面;一片(汪洋、原野等)。 9.〔诗〕帆。 10.邮票的印张〔美国每一印张有邮票400枚〕。 11.【地质学;地理学】岩席;岩床;【航空】涡面; 【数学】叶。 a bed sheet 床单。 a fly sheet 传单。 an operation sheet 使用说明书;施工说明书;工艺规范。 a work sheet 工作单。 a log sheet 纪录表。 a sheet of fire 一片火海。 sheets of rain 倾盆大雨。 a blank sheet 1. 一张白纸。 2. 纯洁的心灵。 a clean sheet 1. 清白的历史。 2. 历史清白的人;品行善良的人。 as white as a sheet (脸色)刷白。 (get) between the sheets 就寝;(睡)在床上。 in sheets 1. 成薄板[薄片]。 2. 【装订】散页;印好放着不加装订。 3. (大雨)倾盆;(大雾)蒙蒙。 pale as a sheet (脸色)苍白。 put on a white sheet 穿上白色忏悔服,忏悔;悔改。 sheets hot from the press 刚印好的印刷品。 stand in a white sheet =put on a white sheet. vt. 1.给…盖被单;在…上铺被单。 2.(用裹尸布)包(死尸);覆盖。 3.把(铁板等)延展成薄片;铺开;展开;伸开;扩展;使成一大片。 The lake was sheeted with ice. 湖面结一层冰。 vi. 大片地落下;成片地铺开;大片地流动。 n. 【航海】 1.缭绳;帆脚索。 2.〔pl.〕(船头或船尾的)空位。 be [have] a sheet [three sheets] in the wind('s eye) 〔俚语〕有点醉[大醉]。 with flowing sheets (横风时)放松帆脚索。 vt. 用帆脚索扣紧(帆)。 sheet home 用帆脚索扣住(风帆)。 sheet-in: 缩帖laminating sheet to sheet: 单张纸覆膜sheet erosion (sheet wash): 片蚀sheet lead starting sheet: 铅板始极片sheet piler; sheet stackers: 垛板机sheet to sheet duplicator: 页转页复制机sheet wash (sheet erosion): 片蚀a testing program: 一种试验方法ability testing: 能力测试accelerated testing: 加速实验; 加速试验acceptance testing: 接收测试; 接受测试; 可接受性测试 一般由用户/客户进行的确认是否可以接受一个产品的验证性测试。; 验收测试; 验收试验accuracy testing: 准确性试验active testing: 动态测试adaptive testing: 适应性测试; 自适应测试additional testing: 附加试验adhesion testing: 密着试验